技术支持

康耐德智能已掌握套刻误差量测的光学成像对准系统。该系统通过高分辨率 CCD 相机捕捉晶圆上的套刻标记图像，利用光学图像测量技术进行高精度定位。

    1. 图像处理与算法：系统采用先进的图像处理算法，如主成分分析方法，可有效降低标识非对称损伤导致的波长依赖性偏差。此外，康耐德智能的形状检测机器视觉 AOI 系统具备高精度形状检测和尺寸测量能力，适用于多种形状的检测。
    2. 光源与照明：系统配备高级照明系统，如环形光源或激光结构光，增强对比度，减少环境光干扰。对于复杂表面，如超软标记或超薄镀层蓝宝石基板，其照明系统也能应对。
    3. 数据处理与反馈：系统能够实时处理图像数据，快速计算套刻误差，并将偏差信息反馈给自动化设备。此外，康耐德智能的系统支持数据记录与分析，可用于质量控制和工艺优化。 

应用场景
    1. 光刻工艺：在光刻工艺中，康耐德智能的视觉系统可用于对准测量，通过识别晶圆上的对准标记，测量当前层与底层的位置偏差，反馈给光刻机的工作台进行实时调整。
    2. 刻蚀工艺：在刻蚀工艺中，系统可用于检测线宽与轮廓，结合光学临界尺寸（OCD）传感器与扫描电子显微镜（CD-SEM），实现高效且精准的量测。
    3. 晶圆追踪与识别：康耐德智能的视觉系统可用于晶圆追踪自动识别，通过高读取率的晶圆读码器，实现 100% 的晶圆追踪。 

总结
    康耐德智能的晶圆套刻误差测量视觉系统具备高精度光学成像、先进的图像处理算法、高级照明系统以及实时数据处理与反馈能力，能够满足光刻和刻蚀工艺中的套刻误差测量需求。如果您需要进一步了解或定制该系统，建议直接联系康耐德智能的技术支持团队，以获取更详细的技术参数和解决方案。