晶圆表面的橘皮缺陷是薄膜/抛光片检测中的典型难点。它的成像对比度低、边缘模糊，常规检测手段很容易漏检。目前主流的解决思路已经从单一算法优化，转向了“特殊光学设计 + 高频信号提取 + AI智能分类”的综合方案。
