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在半导体芯片制造过程中,由于各种因素导致的芯片表面或内部通道形成芯片流道脏污。这些污染可能包括但不限于:
颗粒物污染:微小的尘埃、纤维、金属颗粒等,由于环境控制不当或操作失误而附着在芯片表面或进入内部通道。
化学残留:制造过程中使用的化学试剂未被完全清洗掉,留下残留物。
有机污染物:包括油脂、指纹、皮肤碎屑等,这些通常是由操作人员在没有适当清洁和防护的情况下接触芯片造成的。
金属污染:在芯片制造过程中,可能会有金属离子或金属颗粒沉积在芯片表面或内部,这可能来自设备磨损、化学品中的金属杂质或不当的清洗过程。
生物污染:微生物、细菌等生物污染也可能在芯片制造过程中发生,尤其是在洁净度控制不严格的环境下。
芯片流道脏污可能导致芯片性能不稳定,增加故障率。长期运行中,脏污可能导致芯片的可靠性降低,缩短其使用寿命,同时降低整体的良品率。
性能下降:脏污可能导致芯片性能不稳定,增加故障率。
可靠性降低:长期运行中,脏污可能导致芯片的可靠性降低,缩短其使用寿命。
良品率降低:脏污会增加芯片制造过程中的不良品数量,从而降低整体的良品率。

康耐德智能针对芯片制造过程中形成的流道脏污,研发了芯片流道脏污视觉检测设备,能够检测芯片流道的尺寸,还能识别芯片流道上的脏污。
这是一种新颖的检测方案和检测设备,旨在通过高精度的视觉传感器和算法,对半导体芯片流道脏污缺陷进行集中检测。该设备采用直线电机模组驱动,运动平台定位精度达0.15微米,采用4料盘设计,提高检测效率。结合高精度的视觉模组,该检测设备能够快速、准确地识别出微小的脏污粒子,有效提升检测的精度。
芯片流道脏污的检测和控制是半导体制造过程中非常重要的环节,康耐德芯片流道脏污视觉检测设备能够使生产过程中的质量控制将更为严密,有助于降低不良品率。
芯片射频识别标签导电胶点胶视觉检测系统
2026-09-06
RFID标签中导电胶的点胶质量直接决定芯片与天线的连接可靠性——胶量过少导致导通不良,过多则引发溢胶短路。康耐德智能视觉检测系统正是解决这一工艺痛点的关键,目前成熟方案主要分为传统机器视觉和AI深度学习两条技术路线。
康耐德智能图像传感器围坝填充点胶视觉检测系统
2026-09-06
康耐德智能图像传感器围坝填充点胶视觉检测系统,是一个融合了精密机械控制、机器视觉定位、流体点胶工艺和在线质量检测的自动化综合系统。
康耐德智能芯片堆叠式封装点胶视觉检测系统
2026-08-30
芯片堆叠式封装(PoP, Package-on-Package)中的点胶工艺,对精度和一致性要求极高,康耐德智能视觉检测系统是实现其质量控制的关键。这套系统不仅负责引导点胶头进行精准作业,更要在点胶前后进行全面的缺陷检测与分析。
康耐德智能芯片粘接引线键合封装点胶视觉检测系统
2026-08-30
芯片粘接、引线键合与点胶是半导体封装的核心工序,其质量直接决定芯片的可靠性。康耐德智能视觉检测系统已形成2D/3D光学成像为硬件基础、传统算法与AI模型协同分析的技术架构,以应对高速、微米级精度的检测挑战。 一、三大核心工序的视觉检测要点 一个完整的封装检测系统需针对以下三个环节分别部署相应的检测模块: 1. 点胶质量检测 点胶用于芯片粘接、底部填充或封装密封,其缺陷(断胶、溢胶、气泡、尺寸偏差)直接影响粘接强度和电气可靠性。 检测重点:胶路连续性、胶宽/胶高尺寸、溢胶范围、气泡与杂质、透明胶体轮廓。 技术方案: 2D检测:使用多角度光源(明场+暗场)增强胶体与背景对比,检测断胶、偏胶;精度可达±0.05mm。 3D检测:针对透明胶或大弧度表面,采用同轴线共焦技术,可精确测量胶体高度(Z向分辨率可达0.2μm)并检测气泡,避免传统激光的阴影盲区。 AI应用:深度学习用于区分胶水与背景噪声,处理反光材质(如银浆)下的复杂纹理。 2. 芯片粘接(Die Attach)检测 此环节检查芯片放置的位置精度及固晶胶(Epoxy)的流动状态。 检测重点:芯片偏移/旋转、固晶胶出血或溢出(Epoxy Flow)、芯片表面划伤或裂纹。 技术方案: 高分辨率成像:采用1微米以下解析度的相机和远心镜头,消除透视变形,精准测量芯片边缘位置。 3D共面性检查:使用3D AOI检测芯片是否翘曲或共面性不良。 3. 引线键合(Wire Bonding)检测 引线键合通过金线、铜线或铝线连接芯片与引线框架。该环节极精密,易受工艺参数影响。 检测重点:第一/二焊点有无、焊点位置偏移、线弧形状(塌陷或线弯)、断线、金球尺寸。 技术方案: 2D几何定位:通过图像运算对比标准模板,检测焊点缺失(缺失率可控制在0.16%左右);计算金球与焊盘中心偏差判定偏移。 3D线弧测量:使用3D相机测量线弧高度,防止因线弧接触导致短路。 高速处理:对于每秒处理多个器件的设备,需搭配高性能图像采集卡确保无延迟数据传输。 三、视觉检测系统关键技术 1. 成像技术 高分辨率相机:搭配高倍率远心镜头,成像精度约3μm/pixel 多角度多色光源:专用光源设计,使不同缺陷在不同区域呈现不同颜色特征 3D成像技术:结构光、多角度投影捕获高度和形状数据,测量焊料体积
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