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晶圆NOTCH轮廓检测是半导体制造中重要的检测环节,主要测量晶圆边缘、槽口(notch)的形状和尺寸,确保晶圆的质量和工艺精度。
晶圆光刻对准视觉系统
康耐德智能已掌握套刻误差量测的光学成像对准系统。该系统通过高分辨率 CCD 相机捕捉晶圆上的套刻标记图像,利用光学图像测量技术进行高精度定位。
视觉系统在晶圆制造中是不可或缺的核心技术,贯穿整个工艺流程,对保证良率、提高效率和实现自动化至关重要。
在半导体制造流程中,硅锭需要被精确切割成薄片(即晶圆),以便后续加工。切割的精度直接影响到晶圆的质量和后续生产的良品率。视觉定位系统在这一过程中发挥着至关重要的作用。
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