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晶圆薄膜橘皮缺陷机器视觉检测

发布时间:2026-06-07浏览量:15作者:康耐德

晶圆表面的橘皮缺陷是薄膜/抛光片检测中的典型难点。它的成像对比度低、边缘模糊,常规检测手段很容易漏检。目前主流的解决思路已经从单一算法优化,转向了“特殊光学设计 + 高频信号提取 + AI智能分类”的综合方案。


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