
晶圆刻蚀残留检测是半导体制造良率控制的关键环节。由于刻蚀残留缺陷(如未刻透的氧化层、金属残留、聚合物残留)尺寸极小(纳米至微米级),且背景纹理复杂,传统的基于规则或简单模板匹配的机器视觉系统往往难以胜任。

晶圆显影缺陷机器视觉检测系统主要用于显影后检查(ADI, After Develop Inspection),这是光刻工艺中的关键质量控制环节。该系统能够在显影工序完成后,自动检测光刻胶图形的缺陷,包括显影不完全、残留、桥接、缺失图案等问题。

显示模组作为现代电子设备的核心显示单元,广泛应用于消费电子、车载显示、工业控制、医疗设备、智能穿戴等领域,而玻璃作为显示模组的核心承载部件(包括盖板玻璃、Cell玻璃、触控玻璃等),其完整性直接决定显示效果、触控性能与产品使用寿命。

液体药品中的不溶性微粒(如玻璃屑、纤维、气泡等)是影响药品安全的关键风险因素。传统的人工灯检依赖肉眼,存在效率低、标准不统一、易疲劳漏检等问题。基于机器视觉的自动化检测系统,正在成为制药行业质量控制的主流方案。